株式会社村田制作所开发了工业设备专用高精度数字MEMS陀螺仪加速度组合传感器“SCC400T系列”，并于2022年10月启动了量产。
随着工业设备无人化与自动化的加速，准确获取物体位置及倾斜变化等数据的需求不断增加。此外，随着工业设备的高功能化，搭载的模块亦不断增多，从而要求传感器自身的小型化。
鉴于此，本公司采用MEMS技术开发了本产品，实现了陀螺仪传感器和加速度传感器的小型封装。
通过组合5DoF陀螺仪加速度传感器与1DoF陀螺仪传感器的产品阵容，也可提供6DoF解决方案。陀螺仪传感器X/Z轴的测量范围均为±300°/s，加速度计不仅可测量1次输出±6g，还可测量2次输出±8g。
主要特征：
§ 实现陀螺仪及加速度计低噪声的新架构
§ 优异的线性特性与工作温度范围内的偏移稳定性
§ 单一封装，可组合5DoF高性能陀螺仪传感器与加速度传感器
§ 丰富的自我诊断功能
§ 高度可靠的村田3D MEMS设计
§ 基于独立低通滤波器控制的2次陀螺仪输出
§ 坚固的SOIC塑料封装，无铅焊接工艺与SMD安装满足RoHS标准
产品主要规格
主要用途
惯性测量单元（IMUs）
机器人
机械控制系统
平台控制与稳定化
动作分析
精准定位（GNSS）
村田制作所可提供demo演示器进行传感器测评：
可使用demo演示器作为测评用数据记录仪
验证设计阶段的产品性能
展示产品特性、功能的demo演示器
村田的MEMS评估单元
村田的MEMS评估单元是用于确认MEMS传感器的功能及主要特性的产品。将评估板接入PC的USB接口，使用GUI (图形用户界面)软件进行操作。
村田的MEMS评估板可对应各类MEMS传感器。使用带芯片的PCB或外部扩充板与 MEMS传感器评估板相连接。
