在半导体和FPD制造/检查设备中，如何实现曝光机、涂布机、点胶机、晶片检查设备等的超精密动作？
智能设备制造时，如何控制特殊机械机构，例如具有机器人机构的设备？
加工机/冲压机设备，如何实现放电加工机、喷流加工机、激光加工机、磨床、精密冲压机等的高速超高精度加工？
精密加工 半导体和FPD制造/检查 智能产品3D加工
CK3M/CK5M系列4大特点
解决运动控制的课题
CK3M/CK5M系列兼容Rapid、Flexible、Capable、Easy这4大特点平衡速度和精度，出色的运动控制能力，有助于充分发挥设备的性能。
*Rapid-高速控制周期实现更高精度的加工
通过控制周期25μs/5轴*1这种超高速伺服周期运算，实现高精度的指令运算和高精度的指令追踪，使客户的设备达到更高精度。
*1.仅电机控制的情况。2022年11月本公司调查结果
*Flexible-支持多供应商实现理想设备构成
支持不同接口
不同控制模式，实现理想设备构成
*Capable-高自由度的开发实现各种各样的应用
使用多种编程语言，实现各种各样的应用
开放的软件结构，实现各种各样的应用
*Easy-系统整合实现设备设计工时的削减
无需联锁，减少设计工时
整合工具，轻松设置
系统结构示例
