据悉,该项目投资约10亿元,包括晶圆再生和半导体部件再生。其中,晶圆再生项目是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线,不仅填补了产业链的空白,也为合肥打造“中国IC之都”提供了强劲支撑。
晶圆再生指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷,使处理后的晶圆达到新片的标准,实现其循环再利用,进而为企业节约大量成本。至微项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础,是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线。项目全面达产后,可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力,满产后年产值至少可超过6亿元。
近年来,合肥已成为国内集成电路产业发展最快、成效最显著的城市之一,合肥至微项目的成功量产,将成为国内最早具备12英寸晶圆再生及关键设备零部件再生能力的项目之一,这为我市集成电路产业链添上重要一环,也为产业高质量发展注入了新的动力。