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投资10亿元 全国首家12英寸晶圆再生工厂在肥量产

发布日期:2021-07-19 来源: SEMI作者:网络
   7月15日上午,由至纯科技投资10亿元建设的晶圆再生基地(一期)项目在新站高新区正式量产。该项目是国内首个立项又最先量产的十二英寸晶圆再生工厂,项目量产填补了产业链又一个空白。合肥至微半导体有限公司,是至纯科技旗下半导体晶圆再生和部件再生项目的载体,为集成电路企业十二英寸晶圆提供晶圆再生及零部件再生服务。同时,合肥至微建设的先进制程湿法工艺技术验证平台,能帮助用户、装备厂商、材料厂商,针对湿法工艺的开发和验证提供平台,将对我国半导体晶圆等相关产业技术进步和发展具有积极的推动作用。

  据悉,该项目投资约10亿元,包括晶圆再生和半导体部件再生。其中,晶圆再生项目是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线,不仅填补了产业链的空白,也为合肥打造“中国IC之都”提供了强劲支撑。

  晶圆再生指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷,使处理后的晶圆达到新片的标准,实现其循环再利用,进而为企业节约大量成本。至微项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础,是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线。项目全面达产后,可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力,满产后年产值至少可超过6亿元。

  近年来,合肥已成为国内集成电路产业发展最快、成效最显著的城市之一,合肥至微项目的成功量产,将成为国内最早具备12英寸晶圆再生及关键设备零部件再生能力的项目之一,这为我市集成电路产业链添上重要一环,也为产业高质量发展注入了新的动力。
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