台积电狂买EUV光刻机

设备业者透露，EUV机台供应吃紧，交期长达16至20个月，因此2024年订单大部分会于后年开始交付；据法人估计，今年台积电EUV订单达30台、明年35台，不过会因为资本支出进行微幅调整。而除了研发中心之外，High-NA EUV明后年尚无量产设备规划。

ASML因应客户需求，于去年规划新产能，明年交付数量成长性明确。今年预估总交付数量达53台，而明年预计达到72台以上。

供应链指出，ASML对2025年度产能规划，EUV 90台、DUV 600台、High-NA EUV 20台目标并未改变，今年11月14将举行2024 Investor Day，将对下个五年提出最新蓝图。

台积电先进制程产能逐渐开出，以3纳米台南厂来说，第三季将进入量产，明年P8厂也会有EUV机台陆续导入，新竹宝山2纳米在接续三年EUV拉货动能强劲、高雄2纳米也同步进行。

供应链同时透露，台积美国P1A工程追加款项有望第三季到位，且该厂区已进入建设尾声，加上台积在国内外其余厂区建设需求，如新竹宝山、日本熊本、高雄楠梓及封测厂等、CSP资料中心建置需求，设备需求不看淡。

台积电EUV经验丰富，力压对手

尽管台积电不是第一家使用极紫外线(EUV) 微影的晶圆厂，第一头衔为韩国三星拿下，但可确定台积电仍是全世界EUV 用量最大代工厂。台积电多年来累积丰富EUV 经验，改善EUV 工具，提高效率与产能，并降低成本。台积电年度技术论坛欧洲场详细说明。

外媒报导，台积电2019 年开始N7+ 制程改用EUV 生产，当时台积电的EUV 设备占全球市场42%。即使ASML 2020 年增加EUV 出货量，台积电的EUV 还占全球50%。今年台积电EUV 比2019 年增加十倍，虽三星和英特尔都在提高EUV 产能，但台积电仍占全球EUV 总数56%。可说台积电很早就决定大规模使用EUV。

台积电EUV 生产晶圆量增幅，比EUV 拥有数更大，台积电以EUV 生产晶圆量是2019 年30 倍。显然都透过台积电开发的创新技术。

台积电2019 年以来，透过EUV 生产晶圆产能提高两倍，还大幅改善EUV 光罩，寿命提高四倍，光罩产量提高4.5 倍，并缺陷率大幅降低80 倍。虽EUV 耗电量惊人，但台积电设计未公开节能技术，将EUV 功耗降低24%。台积电还计划2030 年每套EUV 每片晶圆生产能效提高1.5 倍。

考虑到台积电已用标准型EUV 达成所有制程改进，有信心继续生产尖端晶片。尽管对手英特尔Intel 18A 以下节点全力采用Hgih NA EUV，反观台积电，经过时间考验的标准型EUV 推动先进制程发展，避免陷入过快转换制程的成本陷阱，同时也获成熟技术效益。

1nm 才会采用High NA EUV

在芯片制造机器领域，荷兰的 ASML 占据主导地位，生产最先进的机器。就像代工厂随着时间的推移转向更小的节点一样，ASML 也制造了具有更先进技术的新机器，台积电和英特尔等公司需要购买这些机器才能保持领先地位。最先进的机器是高数值孔径 (高 NA) EUV 机器，英特尔已经宣布将购买这些机器。尽管人们可能预计台积电也会加入这趟列车，但新报告表明，它计划等到 1nm 工艺到来后再这样做，预计 1nm 工艺将在 2030 年左右问世。

有关台积电计划的报道来自多个来源，最新的是《电子时报》。该出版物报道称，根据“晶圆厂工具制造商”的消息来源，台积电预计不会在其即将推出的 2nm 和 1.4nm 节点上使用High NA 机器，这两个节点预计将在 2025 年和 2027 年左右推出。相反，它将等到 1nm，这可能在大约六年后出现，这使得台积电在采用最新芯片制造技术时落后其竞争对手几年。

这家全球最大半导体工厂的延迟令人十分好奇，据Tom's Hardware 称，这可能与成本有关。这些机器价格高得离谱，类似于《WarGames》中的 WOPR 等房间大小的计算机，因此购买和安装它们是一项艰巨的任务。此前，分析师还表示，考虑到成本，采用High NA 机器在财务上没有什么意义——据报道，每台机器的成本是现有Low NA 机器的两倍，为 3 亿至 4 亿美元——但 ASML 断然否认了这一说法。Tom's Hardware指出，ASML 高管指责分析师低估了改用高 NA 机器的好处。
 

选择Low NA 还是High NA 的关键在于，人们争论制作掩模版是一次曝光还是多次曝光。Low NA 机器需要多次曝光，这会增加出现缺陷的几率，从而降低产量。High NA 机器只需一次曝光即可完成，从而降低了复杂性和出现错误的几率，同时还节省了制造过程的时间。正如 Tom 所说，现有的 13nm 机器两次曝光就能制作出与High NA 8nm 机器一次曝光相同的掩模版。现在升级并不是保持领先地位的必要条件，这就是为什么像台积电这样的公司可能想要等待一段时间。
 

尽管采用这项技术涉及无数因素，但英特尔和 ASML 于 2022 年宣布将合作开发高 NA 机器，预计这些机器将于 2025 年投入使用。英特尔预计将在英特尔 18A 之后的节点上开始使用这些机器，这可能是 1.4nm 工艺，但英特尔尚未正式透露这一点。不过，该公司将于 2 月 21 日举办代工厂活动，预计将在活动中扩展其工艺路线图，因此我们很快就会知道英特尔的发展方向。