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压力传感器制作

发布日期:2012-11-13 作者:浦菲斯机电
    一种耐高温智能压阻式内燃机压力检测仪,其特征在于:由连接头、散热片、传感器散热片、耐高温压力传感器、信号处理电路、外接导线和液晶显示屏组成,从左至右依次为连接头、散热片、传感器散热片、耐高温压力传感器、外接导线,各部分之间通过螺纹紧固连接,信号处理电路安装在耐高温压力传感器壳中,通过导线与传感器芯片相连,液晶显示屏与外接导线相连。本实用新型创新之处在于取消了机械表式检测装置,采用了耐高温压阻式压力传感器,配置了信号处理电路和8字符液晶显示屏,使得读数直观便于操作、测试精度高和结果更加科学合理,同时具有了多种数据检测记录功能,从而研制了耐高温智能压阻式内燃机压力检测仪。
     在压力传感器的微细加工技术中要求在样品背面的掩膜上光刻出压力腔窗口的图形而且与正面图形严格对准。待别是在设计时必须将力敏电阻安排在膜内;有时离开膜边的距离仅为30P”。正反图形错开时,力敏电阻条对压力灵敏度响应便不对称,甚至有时有可能移到膜外,对压力便无响应。这种错位既可以有平移错动,也可以有角度错开。一般要求对形误差小于20。30”M.角度偏差约在30以内。
     国外目前有成套的大型双面光刻装置.正反面对准同时曝光,操作十分方便。国内也进口了这种双面光刻机,但价格昂贵。因此国内许多研究传感器工作者提出了简易的双面光刻对准技术。对现有朗单面光刻机不作或只作很小的改动,且只需单光源.因而价廉、操作简便。光刻图形质量和精度都能满足要求。
     压力传感器制造过程是基于法布里珀罗干涉仪的压力传感器制造过程更加复杂。首先,硅膜萃取,选择范围取决于测试,目前的微型压力传感器多用超薄硅片的电影,因为超薄硅片厚度已达到了硅膜厚度,相对的要求对压力的厚度使用传统的沉积和牺牲层硅膜技术的进展,但较薄,更高质量的厚度。玻璃加工,玻璃基板材料使用耐热玻璃,上腔和嵌入式光纤通道是由超声波钻探方法进行;同时,它也一直在处理与微加工技术。下一步是在微机电加工技术在玻璃纤维之中。外部用环氧树脂固定一个金属环,金属环和由光纤端面光纤胶粘剂抛光后变得光滑。这一步,关键是胶粘剂的选择,比现有的光学反射胶低,这可以确保该灯不暴露。最后,以一腔和使用方法以及硅膜玻璃阳极键合。
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