近期,TMEIC中国为西部地区项目供应的首批高性能超导磁场和多功能电压瞬时补偿装置均已顺利上线。TMEIC中国凭借对半导体市场需求的深刻了解、成熟的技术实力以及完善的后期服务,为西部地区半导体产业发展构筑质量与安全双重保障,为中国半导体产业的规模化与高质量发展贡献“芯”质力量。
01 建厂后首批交付的TMEIC超导磁场
恒定磁场 提质增效
半导体生产的前段工艺中,在拉晶炉中使用超导磁场可提高晶体硅质量。TMEIC超导磁场(Magnetic field applied Czochralski,简称MCZ)采用鞍型线圈结构,构成了广范围均一水平磁场,精准控制了坩埚内融液的对流,防止了液面浮动造成的结晶缺陷,从而使半导体晶圆拉制过程能够生产高质量的单晶硅。
TMEIC MCZ具有磁场领域广,分布均一,精确控氧等特性,能够显著提高晶棒的利用率和合格率,助力加速提升半导体制造工艺。通过为该项目提供超导磁场,TMEIC中国为西部地区转型升级,引进集成电路产业链,促进信息产业发展打下坚实基础。
卓越团队 零的突破
TMEIC中国团队及MCZ设备在项目现场
02 TMEIC多功能电压瞬时补偿装置确保项目供电稳定
精细保电 提升良率
半导体制造聚焦于制程、良率、生产设备等。在产能爬坡过程中,良率的关键因素之一就是电能,每一枚微小器件也要经过上千道工序,电源的暂升、暂降、中断等都将给半导体器件带来致命的打击。同时,大量的高精尖生产设备产生巨大的电能消耗。
TMEIC中国为该项目引入超导磁场的同时,还配套提供了多功能电压瞬时补偿装置(Multiple Power Compensator,简称MPC),为工厂的整个生产环节的供电提供安全保护,在电压暂降、暂升甚至短时中断时确保生产线供电稳定。
TMEIC MPC性能参数优异,最快1ms内隔离断开暂升,暂降,故障电流,实现高速、精准的电压补偿,为产品性能的提升和产能的扩大保驾护航。该解决方案自2002年在日本市场商用以来,创造了客户负载电压暂降零损失的非凡记录。
TMEIC MPC高效节能,能够实现设备精细化保电,将电力保障从粗放无序提升到了精细有序的新高度。相比采用传统依靠UPS进行保电的方案,工厂通过使用TMEIC设备,工厂的运行效率实现了显著提升,链路中的故障点也明显减少,系统可靠性得到提升。
TMEIC中国团队及MPC设备在项目现场
集成电路是支持中国经济社会发展的战略性、基础性和先导性产业,也是实现双碳目标的重要助力。TMEIC中国将继续深耕探索半导体工艺领域,在保持研发创新赋能企业数字化升级转型的同时,在人才本地化、产品本地化和生产本地化基础上,进一步实现市场和服务本地化,不断推出更加适应中国消费者需求的产品和服务,为中国制造迈向中国“智”造注入不竭动能。