单晶硅
被誉为“半导体之王”,是芯片世界的第一步,也是整个高科技“大厦”的基石。
多晶硅原料在单晶炉的坩埚内经过1450℃的涅槃,并同时旋转拉出,反转坩埚,硅原子才会依照晶种晶向,乖乖地一层层生长上去,从而得到单晶硅棒。
单晶炉控制的挑战与趋势
单晶硅在单晶炉中的生产需几十小时,整个控制容不得半点差错,精度、稳定缺一不可;
一个工厂单晶炉有成百上千台,程序和固件升级耗力且易漏,容易留下安全隐患;
生产厂商对单晶炉的低能耗与工艺优化的需求与日俱增,行业迫切需要通过数字化手段优化生产。
汇川独家开发的PAC集成式控制系统方案,将PLC的轴控、逻辑控制,以及工控机内的视觉系统、人机交互系统,全部融合在PAC内部。
“双发”控制系统带来飞行级稳定可靠
汇川PAC“双发”控制系统,对安全之重,比肩民航客机的双发配置,为单晶炉的控制带来前所未有的高安全可靠性:01系统隔离与独立部署
汇川PAC集成式控制器方案,通过“虚拟化”技术将硬件有效隔离,实现用户系统与控制系统独立部署,确保二者互不干扰,使PLC系统因此不再受Windows系统负载率变化的影响,蓝屏重启时仍不停机。
数据安全与系统恢复
利用“虚拟化”技术,用户可将PLC中的关键数据如配方、掉电数据和用户程序安全备份至硬盘或服务器,确保重要数据永久保存。
PAC具有系统快速恢复功能,对控制系统与用户系统完整备份,遇到控制系统问题时3分钟内可快速恢复。
精准高效一次维护千百台设备
汇川PAC可实现程序集控升级以解决批量升级难题,一次性完成千百台设备程序或者固件的下发,既缩短99%设备升级时间,又能彻底避免漏升级、错升级。01减少99%设备升级时间
集控功能可实时查看厂区所有单晶炉程序下载时间、程序版本、运行状态。点击统一升级指令即可统一升级,无需像传统方案逐台升级,大大节约设备升级时间。
底避免设备程序漏升级、错升级
PAC集控软件可展示车间设备当前程序版本、升级时间等信息,可视化的界面使管理一目了然,彻底避免错漏升级隐患。
抢先一步领先一路
在单晶炉控制方案上,制造厂商必须考虑两点:
● 方案的快速开发与后续改造升级的便利性;
● 通过工艺的不断升级提高产品质量与降低能耗。
汇川PAC集成式控制系统方案,让你在行业大浪淘沙中可以:
快速开发与便利的升级改造
汇川PAC控制器的高度集成,一台便可完成整套方案开发,大幅缩短软件与设备装配开发时间,加速项目交付。
PAC拥有强大的性能与丰富的通信接口,支持灵活配置扩展,为后续改造升级预留空间,用户可在不更换整套控制系统下快速完成升级操作。
用数据优化生产,实现高质量产品
高速数据通道:
通过共享内存内部板级高速通信功能,PAC控制器取代了传统的PLC与工控机之间网线以太网通信方式,显著提高通信速度;并提供实时数据采集接口和数据存储能力,获取更丰富的生产数据信息,用户可以高效实时分析生产关键数据。
数据存储服务:
通过PAC的大数据存储对温度、湿度、压力、提拉速度等工艺参数进行收集存储,为工艺优化提供数据底座。通过大数据分析识别裂纹、杂质和直径不一致等晶体生长问题的原因,优化生产工艺,确保晶体的高效、高质量、低能耗的生长。