当局表示，泛林为全球第三大半导体晶圆设备制造及服务供应商，在台设立先进节点及高阶制程技术研发中心，提升台湾在先进节点及高阶制程技术的自主研发能量。若加上阿斯麦及应用材料，全球前三大半导体设备商全数到位。
三巨头在台设置高阶研发中心后，除带动采购与在台投资，也可带动50家岛内厂商参与外商研发与切入国际供应链，台湾因此成为全球半导体设备研发密度最高的地方。经济部近5年投入近65亿元，补助岛内设备及材料业者投入研发，带动137项本土产品进入半导体国际供应链。
此外，台湾方面补助当地半导体设备及材料业者自主技术研发，协助当地设备与材料通过台积电、日月光、联电等半导体国际大厂的品质及可靠度验证，在半导体前段生产设备、高阶封装设备及关键制程材料方面取得突破。
三大设备巨头的投入
EUV（极紫外光曝光机）大厂ASML今年八月启动在台最大投资案，规划在新北市林口工一产业园区内新建厂区，预计最快2026年启用。通过台湾方面表示，通过台湾ASML逾100亿元增资案，这是去年底ASML宣布林口投资案后，首次向投审会申请的增资案，主要将用于林口设厂。
投审会随后也通过荷兰商ASML以56亿4655万元及1亿4000万欧元（折合将近新台币50亿元）增资台湾ASML。
ASML林口新厂预计明年7月动工，这将是ASML在台湾最大投资金额，不只如此，ASML还计划将欧洲供应链带到台湾落地。在半导体一片寒风刺骨中，ASML有何底气在台湾加码投资？以下为2022年11月16日报导：
ASML生产的EUV是生产7纳米以下先进制程不可或缺的机台，因此ASML自然会以能就近服务大客户为优先，尽量贴近台积电及三星电子（Samsung Electronics）所在的城市，并成为在半导体陷入低潮期时，少数仍能够反其道而行，加大投资力度的企业。
半导体行业在近半年来，正逐步进入修正期，甚至台积电、美光（Micron）和英特尔（Intel）等国际大厂也都纷纷缩减资本出。主要原因还是来自于消费市场的需求疲软，笔电、智慧手机等产品需求也已耗尽疫情红利，连带影响半导体厂的订单数量。
不过即使如此，将时间轴拉长三至五年来看，由于疫情推升了数位转型的速度，让诸如电动车、资料中心和头戴式装置等应用场景增加，连带扩大市场规模。像这类的产品，市场上仍需求强劲。除了要有精密的设计、5G的普及外，先进制程也是能否让例如高阶CPU（中央处理器）、GPU（图形处理器）等产品落地的关键。
然而，想要做出先进制程，并同时保有良率，就绝对需要EUV的辅助。仗着这样的市场需求，ASML便有了持续挹注资金的底气；加上又独垄了EUV市场，这样特殊的市场位置，让这间荷商能在景气一片低迷的状况下，继续加码投资。
《华尔街日报》也指出，ASML是全世界唯一能生产EUV的企业，EUV又是让当前世界顶级半导体厂保持竞争力的关键。因此，即使各大厂区都在缩减资本支出，基于担心落后对手的原因，也绝不可能砍掉对ASML的订单。目前ASML所累积的已下订金额，估计已高达380亿欧元。
除此之外，在上个月的电话会议上，ASML也表示，美国禁令的影响对ASML来说几乎微乎其微。
泛林为全球半导体制程最大蚀刻制程设备供应商，长期在台湾建立半导体设备零组件供应链，为持续深化双边合作关系，他们将在台湾成立研发中心及增加研发投资，以强化对客户先进制程技术服务及深化设备在台供应链规模，加速实现2纳米制程量产。
