分地区来看，尽管中国大陆在2022年的投资步伐同比放缓了5%，但中国大陆仍连续第三年成为最大的半导体设备市场，销售额达283亿美元；中国台湾是第二大设备支出目的地，增长8%，达268亿美元；韩国的设备销售额缩减了14%，达215亿美元；欧洲的年度半导体设备投资激增了93%，而北美则增长38%。世界其他地区和日本的销售额分别同比增长34%和7%。
此外，SEMI指出，2022年晶圆制程设备销售额增加8%，其他前段设备销售增加11%，封装设备则减少19%，测试设备减少4%。
SEMI总裁兼首席执行官Ajit Manocha表示：“2022年半导体制造设备销售额创历史新高，源于该行业正在努力增加工厂产能，以支持高性能计算和汽车等关键终端市场的长期增长和创新。此外，这些结果还反映了各地区为避免未来半导体供应链受疫情限制而进行的投资和决心。”
