作为目前全球最先进的第三代半导体材料,虽然从外表看只是个小圆片,但碳化硅晶片是制造耐高温、高频、抗辐射及大功率器件的不二之选。除5G通信外,在国防、航空航天、新能源汽车、智能电网和通讯基站等领域,也有着广阔的应用前景。
除了功能强大,碳化硅晶片之所以如此珍贵的另一个更为重要的原因,是碳化硅单晶制备工艺十分复杂。其中,高稳定性的长晶工艺技术是其核心,原来只有美国等少数发达国家掌握。而中国近年来在碳化硅晶片领域奋力追赶,从基本原理研究逐渐掌握了碳化硅单晶制备技术,并一步一步走向了产业化。
从长期依赖进口、被国外“卡脖子”,到掌握批量生产技术、实现完全自主供应。近年来,中国的碳化硅研制与生产成效卓著,中国电科(山西)碳化硅材料产业基地可谓功不可没。目前该基地可生产4英寸高纯半绝缘4H-SiC单晶衬底、6英寸高纯半绝缘4H-SiC单晶衬底、6英寸N型4H-SiC单晶衬底、莫桑晶体。
中国电科(山西)碳化硅材料产业基地是全国最大的碳化硅生产基地。由中国电子十一院设计,2019年开始建设,2020年3月正式投产。该项目产能预计可达到:N型晶片18万片/年;高纯晶片6万片/年(其中:6英寸片5万片/年,4英寸片1万片/年),均为第三代半导体碳化硅产品。
这样功能强大的碳化硅晶片,对研发环境有着极为严苛的要求。由于碳化硅具有十分稳定的特性,所以在一些恶劣环境下仍可稳定工作。也正是因为稳定的化学特性,碳化硅生产的技术门槛非常高。而设备的配套产品和功能元器件需要满足长期、稳定、可靠使用的要求,同时具备节能效果。因此,具有连续工作高稳定性和良好精度保持性就成为该项目的考察重点。
40余台变频器,释放强大性能
丹佛斯变频器凭借其稳定的性能及节能的特点成功应用于该碳化硅基地项目的空调及风机系统。目前共有40余台丹佛斯VLT-AutomationDriveFC300变频器,功率7.5KW~315KW,自投产至今运行正常。
丹佛斯变频器在碳化硅单晶技术研发过程中发挥哪些重要作用呢?
丹佛斯VLT变频器在此项目中,主要应用于工艺冷却水系统(简称:PCW),对碳化硅生产环节中最重要工艺设备——单晶生长炉进行冷却,丹佛斯变频器对工艺冷却水的流量、流速、压力、温度、湿度精准把控,保护核心动力,有效避免因设备问题造成损失。另外,丹佛斯变频器应用于空调系统,因其具备性能稳定、控制精确的特点,为辅助单晶生长炉稳定运行提供可靠环境条件。
那么丹佛斯VLT?AutomationDriveFC300变频器还有哪些应用优势呢?
高级监控,精确控制
使用增强型高级应用监控功能可以跟踪风扇、泵和压缩机的状态,这意味着可以延长使用寿命、降低维修成本以及减少停机时间。
恶劣环境稳定运行
丹佛斯变频器在最高50°C环境温度时无降容,而超过50°C时则自动降容,从而能在极端环境条件下继续降容,保持稳定运行。
高效节能
变频驱动是控制风扇和泵机长期运行的有效方式,每年节约成本约为变频器成本的5%-10%。因此,丹佛斯变频器能保证最大正常运行时间和最低成本。
在碳化硅单晶制备技术成功研发的背后,是丹佛斯与中国电科在半导体材料领域的一次成功合作。丹佛斯变频器为技术研发提供稳定的环境条件,自投入生产以来,全部设备平稳运行,保障技术研发过程的顺利进行。
丹佛斯变频器强大性能深受客户的认可和信任,为此丹佛斯将继续努力前行,为大家带来更多功能强大的产品,提供更加优质的解决方案及服务,与广大合作伙伴一道为中国尖端技术的发展贡献力量!