压阻型
压阻型加速度传感器是另一种广泛应用的直流响应加速度传感器。不同于电容型加速度传感器通过电容的变化测量加速度,压阻型加速度传感器通过应变电阻值的变化输出加速度信号,应变电阻是传感器惯性感应系统的一部分。很多工程师熟悉应变片,并知道如何测量其输出。大多数的压阻型传感器对温度变化敏感,因而需要对其输出信号在传感器内部或外部做温度补偿。现代压阻型加速度传感器包含一个专用集成电路做在板信号处理,也包含温度补偿。
压阻型加速度传感器的工作频率可达5000Hz。许多压阻型加速度传感器要么采用空气阻尼(MEMS型),要么采用液体阻尼(粘贴应变片型)。阻尼特性是选择传感器的一个重要因素。某些应用下,输入的机械振动包含高频成份(或激发高频响应),带阻尼的传感器可以防止本身产生振铃(谐振),从而保留或增大了可用动态范围。由于压阻型加速度传感器的输出是差分的纯电阻信息,信噪比通常很好;其动态范围仅受限于后接直流放大器的品质。对于高加速度冲击测试,某些压阻型加速度传感器能够测量到超出10000g的加速度。
由于具有宽的频率响应能力。压阻型加速度传感器适合做脉冲、碰撞测试,在这些测试中频率和加速度通常都很高。作为具有直流响应能力的传感器,通过其加速度输出,使用者可以得到无积分误差的速度和位移信息。压阻型加速度传感器通常应用于汽车安全测试,武器测试,地震测试等。
小结
每种加速度传感器技术都有其优缺点。在作出选择之前,明确它们的区别和测试需求是非常重要的。首先也是最重要的是,对于需要测量静态加速度或低频加速度(<1Hz)的应用,或者需要用加速度计算速度和位移的应用,需要选择具有直流响应的加速度传感器。直流和交流响应的加速度传感器都可以测量动态信号。当仅需要测量动态信号时,使用者可以各取所好。有些使用者不喜欢处理直流响应加速度传感器的零点偏置,而更加喜欢交流耦合、单端输出的压电加速度传感器。而另一些使用者不在乎处理零点偏置,习惯3线或4线接口,喜欢负载电阻自检测试(shunt),和重力加速度自检测试(2g 翻转)功能。他们会选择直流响应加速度传感器。
总的来说:电荷输出模式的压电加速度传感器是最耐久的一种设计,这主要由于它结构简单,材料坚固可靠。对于高温(>125°C)动态测试,电荷输出模式的压电加速度传感器是毫无疑问的选择,也是唯一的选择。对于电荷输出模式的压电加速度传感器,配备低噪声同轴电缆和电荷放大器(或在线电荷转换器)是必须的。
电压输出型压电加速度传感器是最常用于动态测试的。其具有小的尺寸,宽的带宽,内置电荷放大器使得其与现有仪器或数据采集器(具有IEPE/ICP接口)可以直接连接。电压输出型压电加速度传感器一般用于125°C以下的应用,但是由于其输出阻抗低,不需要使用低噪声同轴电缆。
电容型加速度传感器通常设计成零界阻尼或过阻尼状态,适合做低频测试。其低成本,SMD封装的器件适合汽车、消费品等大批量的应用,这些应用对精度的要求往往不高。价格更昂贵的仪用级别的MEMS结构电容型加速度传感器具有良好的零点稳定性和较低的噪声。电容型加速度传感器一般都具有低的输出阻抗,2~5V的输出摆幅,需要稳定的直流电压供电。
压阻型加速度传感器种类很多,具有不同的频率响应范围和动态范围。作为具有直流响应的传感器,它们能够测试静态加速度,进而准确的计算速度和位移。压阻型加速度传感器的频率响应带宽足够做大部分的动态测试。它们的阻尼可以设计成不同值( =0.1~0.8),这使得它们适应不同的测试条件,包括冲击测试。纯压阻型加速度传感器(不包含信号调理电路)可以制作得很小很轻,具有中等输出阻抗(<5000)和100 ~ 200 mV的满量程输出。而带放大的压阻型加速度传感器(内置信号调理芯片)具有较低的输出阻抗(<100)和2~5V的满量程输出。
注释及参考文献
A. G. Piersol, T.L. Paez, Harris’ Shock and Vibration Handbook 6th Ed., p.10.9, McGraw-Hill, 2010
A. G. Piersol, T.L. Paez, Harris’ Shock and Vibration Handbook 6th Ed., p.15.19, McGraw-Hill, 2010
ICP 是PCB公司经注册的商标. 市场上有很多不同公司关于此类传感器的商标.
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主要的压电加速度传感器采用锆钛酸盐陶瓷,具有很宽的工作温度范围,宽的动态量程,宽的频率范围(可用频率 >10kHz)。电荷输出型加速度传感器把压电陶瓷封装在具有气密性的金属外壳中。由于具有抵抗严酷环境的能力,其具有非常好的耐久性。由于其具有很高的阻抗,该传感器需要配合电荷放大器和低噪声屏蔽电缆使用,最好是同轴电缆。低噪声电缆是指其具有低的摩擦电噪声2,这是一种运动产生的来自电缆本身的噪声。很多传感器厂家同时提供这种低噪声电缆。电荷放大器和电荷输出型加速度传感器连接,从而可以消除电缆电容和传感器电容并联带来的影响。配合先进的电荷放大器,电荷输出型加速度传感器很容易实现宽的动态响应(>120dB)。由于压电陶瓷的工作温度范围很宽,有些传感器可以用于-200°C 到 +400°C,甚至更宽温度的环境。它们特别适合极限温度下的振动测试,如涡轮引擎的监测。
电压输出型加速度传感器
另一种压电加速度传感器输出电压信号而不是电荷信号。这种传感器的内部包含了电荷放大器。电压模式的传感器有3线式(信号,地,电源)和2线式(信号/电源,地)。2线式又被称为集成电路式压电传感器(IEPE)。由于可以方便的采用同轴线(2线,芯线和屏蔽线)连接, IEPE非常流行。该模式下,交流信号叠加在直流电源上。在输出端串联一个耦合电容能够去掉传感器的直流偏置电压,从而仅获得传感器信号输出。许多现代仪器提供IEPE/ICP3输入接口,从而可以和IEPE传感器直接连接。如果IEPE供电接口不可用,需要一个带有恒流源的信号放大器和IEPE传感器一期使用。3线式传感器则需要一根单独的直流电源线供电。