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泓格半导体产业专用烤箱的温度控管

发布日期:2024-04-18 作者:网络

 


案例介绍

此客户为台湾半导体产业烤箱设备厂,利用烤箱的光与热相关技术,提供PCB电路板、FPD面板与触控、半导体、电子组装、印刷、涂装、鞋业等各大产业的高精度生产设备。而此案例则为面板制程的热风多层炉烤箱的温度监控实例分享。

严苛的制程条件,烤箱温度成为质量与良率的关键因素

TFT-LCD大尺寸面板制程中,许多涂布材料须经过烘烤制程,并需热处理,其温度则越低越好,且针对不同的程序,其适合的温度也有所差异。

为达成上述条件,所采取方式有批量式和单片式电热板输送带等两种。随着面板产品的多元化,制程上的复杂度明显提升,而烤箱温度的稳定,则成为质量与良率的关键。

ICP DAS DALI网关,PLC与DALI灯控模块之间的桥梁

在此案例中,客户所使用的热风多层炉靠内部数百颗灯管来达成加热机制。为了让灯管可随制程变化,做到随时调节、转变,且维持稳定可靠,客户选择了DALI灯控模块进行灯管的管理,并采用不受极性影响的电子式安定器,精密控制灯管输出功率。然而,热风多层炉所使用的PLC支持 Modbus RTU通讯协议,无法接收DALI灯控模块的DALI通讯协议,因此选择泓格DGW-521 DALI网关来连接PLC与DALI灯控模块,进而达成温度管理与灯管异常监控的需求,维持制程条件与良率质量的管控。其系统架构图如下:

 


结语

过去热风多层炉烤箱市场为国外厂商所垄断,此客户制造的热风多层炉烤箱,突破长期需要仰赖从国外进口主要设备的困境,且符合提高质量与降低成本的要求,大大提升中国台湾光电产业的竞争力,因此该客户目前是中国台湾唯一具有Array/CF/Cell加热设备供应能力的厂商,也是中国台湾设备厂商TFT LCD唯一的供货商。

泓格长期关注新技术研发,产品项目完整,针对各种不同通讯协议的信息转换需求,皆有可对应的产品,因此能够满足客户系统整合所需。从使用者的角度思考,通过大量累积的经验,泓格科技将持续提供各领域业者完善的产品与服务。

 

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