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百亿项目新进展!9月6英寸碳化硅衬底片试生产

发布日期:2021-07-16 作者:网络
 前,露笑科技发布了一则公告,披露其第三代功率半导体(碳化硅)产业园项目最新动态。

 

 

据公告内容显示,合肥露笑半导体从去年 11 月份破土开工建设,3 月份一期厂房结顶,5 月份内部公辅设备开始安装调试,6 月份部分设备开始进场安装。随着衬底加工设备、 清洗设备和测试设备的逐步到位及加工工艺优化,合肥工厂 9 月份基本可实现 6 英寸导电型碳化硅衬底片的小批量生产。


技术方面,露笑科技现已全面掌握了 6 英寸导电型碳化硅晶体生长工艺参数之间的耦合关系,确定了各工艺参 数的优值,具备了可重复、可批量生长碳化硅晶体的设备及技术条件。 

 

其中的设备条件,因为公司就是设备供应商,已经根据 工艺的改进对长晶炉进行了三代的优化,目前设备 100%国产化,一期部分设备已经完成出厂调试,正在合肥工厂安装过程中。

 

公司经过了多 轮的参数优化,多家的第三方测试,目前各工艺参数的优值达到产品应用同行业 P 级标准。

 

据悉,项目总投资100亿元,占地面积88亩,主要建设第三代功率半导体(碳化硅)的设备制造、长晶生产、衬底加工、外延制作等产业链的研发和生产基地。

 

项目分三期建设。

 

· 一期预计投资21亿元,建成达产后,可形成年产24万片导电型碳化硅衬底片和5万片外延片的生产能力;

 

· 二期预计投资39亿元,建成达产后,将形成年产10万片6英寸外延片和年产10万片8英寸衬底片生产能力;

 

· 三期预计投资40亿元,达产后将形成年产10万片8英寸外延片和年产15万片8英寸衬底片生产能力。

 

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