新型的微机电系统（MEMS）技术可适用于非常广泛的应用领域，例如手机、消费与游戏类产品、玩具、汽车、机器人、工业与医疗等使用三轴加速度计（3Daccelerometers）、或陀螺仪（gyroscopes）。同一个工艺可以生产单轴与双轴的加速度计，而加速度计（accelerometer）和陀螺仪（gyroscope）亦可在同一个工艺中整合在单一芯片上，以实现六自由度的惯性感测单元。
X-FABMEMS产品线经理IainRutherford表示，”X-FAB开放性平台的制程开启MEMS产业的新世代。我们正在改写历史，把“一个产品、一个工艺”的限制转换到开放性的平台，此方法给予任任意客户使用世界级质量的工艺做多领域的应用开发，此举能让我们的客户快速地实现他们的目标。”
X-FAB的新技术具备高可靠度、单晶硅的惯性质量（inertialmasses）与drive-combs、特有的埋层连接（buriedcontact）技术让单一的金属层可以完成复杂的金属连接、还有低寄生电容和EMI防护。三轴惯性传感器的新工艺补足了X-FAB于2003年所建立并已被客户使用的单轴/双轴惯性传感器、压力传感器、与红外线感应热电堆（thermopile）的开放平台技术，其中还包含现成的2G、10G、100G的加速度计IP。为了保证该技术的特性、稳定与高良率，X-FAB对该三轴惯性传感器的技术进行一步一步地质量验证。
