H-850KMLD 6足定位系统在XY轴方向100mm的行程范围提供1µm的最小增量运动，在Z轴方向上提供0.5µm的最小增量运动。3个线性轴上的的重复度为±1 µm，旋转轴上的重复度为±5µrad/9µrad。
所有的Physik Instrumente 6足系统出厂时都配有特殊的6足控制器和大量的软件包，易于使用和集成。专用的C-887六足多轴矢量控制器直接接受笛卡尔坐标系下的指令。用户可以用一个软件命令指定空间中的随机支点，该功能是自动光学和机械校准应用的关键。 Microsoft Windows或Linux下的LabVIEW和基于文本的编程语言由库和程序实例来支持。
