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瀚天天成碳化硅项目二期竣工,预计Q2投产!

发布日期:2022-04-15 作者:网络
 近日,据厦门火炬高技术产业开发区消息,位于高新区同翔高新城(翔安片区)的瀚天天成碳化硅产业园二期顺利竣工,并于3月底进行联合验收,项目计划今年二季度投产。


据了解,瀚天天成碳化硅产业园项目总投资6.3亿元,一期项目已建成投产。拟建设6英寸SiC外延晶片生产线项目,建成投产后预计年产值20亿元。


瀚天天成成立于2011年,是一家集研发、生产、销售碳化硅外延晶片的中美合资高新技术企业,我国碳化硅外延龙头企业,也是华为哈勃投资的第一家碳化硅外延企业。


此前,瀚天天成曾表示,将于今年正式迁入新建的碳化硅产业园,并将首次突破碳化硅外延年出货量10万片大关,年底前产能将远超国际竞争对手。


碳化硅功率器件不能直接制作在碳化硅单晶材料上,必须在导通型单晶衬底上额外生长高质量的外延材料,并在外延层上制造各类器件。一般采用PVT方法,高温(达2000多度)、加工周期较长、产出较低,因而碳化硅衬底的成本较高。


外延工艺是产业中极关键的工艺。现在所有器件基本上都是在外延上实现,所以外延的质量对器件的性能是影响很大,但外延的质量受到晶体和衬底加工的影响,处在产业的中间环节,对产业的发展起到非常关键的作用。


碳化硅外延片,是指在碳化硅衬底上生长了一层有一定要求的、与衬底晶相同的单晶薄膜(外延层)的碳化硅片。实际应用中,宽禁带半导体器件几乎都做在外延层上,碳化硅晶片本身只作为衬底,包括GaN外延层的衬底。


目前,在全球市场中,外延片企业主要有 DowCorning、II-VI、Norstel、Wolfspeed、罗姆、三菱电机、Infineon 等。在中国大陆地区,纯粹做外延片的有瀚天天成和东莞天域半导体等企业。

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